Microscopi electrònic de rastreig: diferència entre les revisions

En un MER típic, el feix d'electrons s'emet termoiònicament des d'un disparador d'electrons equipat amb un [[càtode]] que conté un filament de [[tungstè]]. Aquest material s'empra normalment als electrons termoiònics perquè té el punt més alt de fusió i la [[pressió de vapor]] més baixa de tots els metalls, propietats que li permeten ésser escalfat per a l'emissió d'electrons. També cal tenir en compte que té un baix cost econòmic.

 

 

Quan el feix primari d'electrons interactua amb la mostra, els electrons perden energia per mor del repetitiu i aleatori rastreig i absorció en el volum en forma de llàgrima de la mostra anomenat volum d'interacció; aquest té una gruixa d'entre 100 nm i 5 μm en la superfície de la mostra. La quantitat del volum d'interacció depèn de l'energia amb la que impacta l'[[electró]] a la mostra, el [[nombre atòmic]] de la mostra i la seva densitat. L'intercanvi d'energia entre el feix d'electrons i la mostra dóna com a resultat la reflexió d'electrons d'alta energia per rastreig elàstic, l'emissió d'electrons secundaris per rastreig inelàstic i l'emissió de [[radiació electromagnètica]], cadascuna de les quals pot ésser detectada per detectors especialitzats. El corrent d'electrons absorbit per la mostra també pot ésser detectat i emprat per crear imatges de la distribució del corrent de la mostra. S'empren amplificadors electrònics de diversos tipus per a amplificar els senyals que són visualitzats en un tub de [[raigs catòdics]]. El rastreig de la pantalla de tubs de raigs catòdics està sincronitzada amb el feix que incideix en la mostra.