Polvorització catòdica: diferència entre les revisions

Contingut suprimit Contingut afegit
m Corregit: està causada > és causada
m Correcció tipogràfica: espais sobrants
Línia 10:
Aquest fenomen es fa servir de forma extensiva en la indústria dels semiconductors per dipositar pel·lícules fines de diversos materials sobre oblies de [[silici]]. Es pot fer servir també per aplicar capes fines sobre vidre per a aplicacions òptiques. El procés es pot dur a terme a temperatures molt baixes, el que li fa el mètode ideal per dipositar porta, font i drenador a [[transistor de pel·lícula fina|transistors de pel·lícula fina]], així com contactes a [[díode PIN|díodes PIN]]. De fet, l'ús de la polvorització catòdica per dipositar pel·lícules fines sobre un substrat és segurament una de les seves aplicacions més importants avui en dia.
 
Un avantatge important de la polvorització catòdica com a tècnica de deposició és que les pel·lícules dipositades tenen la mateixa concentració que el material del blanc. Això pot semblar sorprenent, ja que esmentem abans que el rendiment de polvorització depèn del pes atòmic de les espècies involucrades. Per tant, un espera que un dels components de l'[[aliatge]] es dipositi més ràpid que altres, portant a un canvi de la concentració de la pel·lícula resultant. Tot i que és cert que els components es polvoritzen a velocitats diferents, es tracta d'un fenomen superficial la vaporització d'una espècie de forma preferent enriqueix la superfície amb àtoms de les restants, cosa que compensa de forma efectiva la diferència de velocitats d'abrasió . Així, les pel·lícules dipositades tenen la mateixa composició que el blanc. Això contrasta amb les tècniques evaporatius, en la qual un component s'evapora sovint de forma preferencial, amb el resultat d'una pel·lícula dipositada amb una composició diferent al material font.
 
Una altra aplicació de la polvorització catòdica és l'erosió del material blanc. Un exemple passa en l'[[espectroscòpia de masses d'ions secundaris]], on el blanc es polvoritza a velocitat constant. A mesura que això passa, la concentració i la identitat dels àtoms evaporats es determina per [[espectroscòpia de masses]]. D'aquesta manera, es pot determinar la composició del material investigat i identificar concentracions extremadament baixes d'impureses. A més, com la polvorització va atacant a capes cada vegada més profundes, és possible obtenir un perfil de concentració en funció de la profunditat.